光学的手法を工程中に利用したナノインプリント技術を取り上げました。 ここで光学的手法とは、主には光硬化性樹脂を放射線によって硬化させる手段を指します。 この「光ナノインプリント技術」を実施するための樹脂材料、モールド材料、装置、設備、製造方法、及びこの技術を用いて作製される製品群などを取り上げました。 ◆金型作製 光ナノインプリントに用いられる金型に関する情報を取り上げました。製造方法、材料などを含みました。 ◆材料 光ナノインプリントに用いられる各種材料に関する特許情報を取り上げました。光硬化性樹脂材料、金型基材などを含みました。 ◆設備、装置 光ナノインプリント工法に関連する設備、装置を含む特許情報を取り上げました。 ◆生産方法 光ナノインプリントを用いる製造方式であって、その工程改善を主眼とした特許情報を取り上げました。 ◆工程に使用(レジストとして) 光ナノインプリント手法によって作製されたパタン膜をエッチングレジストとして使用する工程に関する特許情報を取り上げました。 ◆剥離性向上 光ナノインプリント工法において金型/被成形物間の剥離性向上を目的とした特許情報を取り上げました。 ◆用途 光ナノインプリントを用いて作られる最終製品、用途が具体的に明記されている特許を取り上げました。 ◆その他 上記以外の光ナノインプリントに関する、有益と思われる特許情報を取り上げました。
光ナノインプリント
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パテントガイドブック