本書は、ナノインプリントの全体俯瞰の多様な用途展開を取り上げました。 ・被加工面に押圧してパターンを賦型する「型(モールド)」に関する情報を取り上げました。モールドの材質や形状(ロールなど)、材質、製造方法、モールドに付随する部材を含めました。ソフトなモールドやモールド表面のめっき処理、離型剤、モールドの劣化判定や欠陥対策も含めました。パターンの形態は表面の凹凸に限らず皺や溝、褶曲なども含めました。一部に、ナノインプリントの概念に含めておきたい凹凸のないパターンも含めています。 ・ナノインプリントに用いられる樹脂などの材料に関する情報を取り上げました。ナノインプリント用感光樹脂、熱可塑材料のほか、離型剤や洗浄材料も含めています。無機のナノインプリント材料も、材料に特徴がある特許情報は取り上げています。 ・ナノインプリントする機械加工装置(スタンパ)に関する情報を取り上げました。離型装置やアライメント装置も含めました。ただし、ナノインプリントと特定されない技術は取り上げませんでした。例えば、一般のフォトリソ装置は取り上げていません。 ・ナノインプリントの作業工程や処理方法に関する情報を取り上げました。凹凸の賦型に限らず表面状態(親水性化、疎水性化など)のパターン加工も含みました。R2Rプロセスも含めています。 ・ナノインプリントに関する測定技術、分析評価技術に関する情報を取り上げました。 ・ナノインプリントの用途に関する情報を取り上げました。ナノインプリントと記されていなくても、用途開拓の参考になると思われる情報。 ・ナノインプリントの参考になる情報を取り上げました。競合技術。自己組織化、ミクロ相分離、シュリンク(バックリング)などのボトムアッププロセスも参考例として取り上げました。
ナノインプリントの全体俯瞰 PART2
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パテントガイドブック