高精細液晶パネルや有機ELパネルを駆動するTFTとして、高いキャリヤ移動度を有する酸化物半導体TFTが注目されています。本書では最近(2013年以降)の特許情報を分類・整理して技術動向を俯瞰しました。TFTの積層構造や製造方法に関する(A)TFT/画素電極の構造・製造方法、有効画素面積を増やすための(B)開口率向上、酸化膜半導体活性層に関わる(C)高信頼性技術、省エネのための(D)低消費電力技術、TFTやディスプレイ装置の材料に関わる(E)構成材料組成・物性、デバイス製造に用いられる(F)プロセス要素技術、カラーディスプレイのための(G)カラーフィルター、および高品位な画質を得るための(H)駆動方式の8項目を取り上げました。
ディスプレイをねらう酸化物半導体TFTの最前線Part3
¥88,000価格
パテントガイドブック